This invention provides a process for treating a workpiece having a front side, a back side, and an outer perimeter. In accordance with the process, a processing fluid is selectively applied or excluded from an outer peripheral margin of at least one of the front or back sides or the workpiece. Exclusion and/or application of the processing fluid occurs by applying one or more processing fluids to the workpiece as the workpiece and corresponding reactor are spinning about an axis of rotation that is generally orthogonal to the center of the face of the workpiece being processed. The flow rate of the one or more processing fluids, fluid pressure, and/or spin rate are used to control the extent to which the processing fluid is selectively applied or excluded from the outer peripheral margin.

Esta invención proporciona un proceso para tratar un objeto que tiene una parte delantera, un lado trasero, y un perímetro externo. De acuerdo con el proceso, un líquido de proceso se aplica o se excluye selectivamente de un margen periférico externo de por lo menos uno de los lados delanteros o traseros o del objeto. La exclusión y/o el uso del líquido de proceso ocurre aplicando unos o más líquidos de proceso al objeto mientras que el objeto y el reactor correspondiente están haciendo girar sobre un eje de la rotación que es generalmente orthogonal al centro de la cara del objeto que es procesado. El caudal de los unos o más líquidos de proceso, la presión del líquido, y/o la tarifa de la vuelta se utilizan para controlar el grado a el cual el líquido de proceso se aplica o se excluye selectivamente del margen periférico externo.