Surfaces of diamond crystals are examined by coating the surfaces with thin metal films, launching laser beams to the diamond surfaces in a slanting angle, detecting defects and particles on the diamond surfaces by the scattering of beams and counting the defects and particles by a laser scanning surface defect detection apparatus. Diamond SAW devices should be made on the diamond films or bulks with the defect density less than 300 particles cm.sup.-2. Preferably, the diamond,surfaces should have roughness less than Ra20 nm. Diamond SAW filters can be produced by depositing a piezoelectric film and making interdigital transducers on the low-defect density diamond crystals.

Oberflächen der Diamantkristalle werden überprüft, indem man die Oberflächen mit dünnen Metallfilmen beschichtet und Laserstrahlen zu den Diamantoberflächen in einem schräg liegenden Winkel ausstößt und Defekte und Partikel auf den Diamantoberflächen indem das Zerstreuen der Lichtstrahlen und das Zählen der Defekte und der Partikel durch einen Laser ablichtenden Oberflächendefekt-Abfragung Apparat ermittelt. Diamant SÄGE-Vorrichtungen sollten auf den Diamantfilmen oder -hauptteilen mit der Defektdichte gebildet werden weniger als 300 Partikel cm.sup.-2. Vorzugsweise sollte der Diamant, Oberflächen Rauheit weniger haben, als Ra20 nm. Diamant SÄGE-Filter produziert werden können, indem man einen piezoelektrischen Film niederlegt und interdigital Signalumformer auf den Niedrigdefekt Dichte-Diamantkristallen bildet.