A waveguide optical semiconductor device, a method of fabricating the same and an optical device module. The semiconductor device includes a substrate, a waveguide formed on the substrate, an electrode layer formed on the waveguide, and bumpers formed on the substrate. The bumpers are disposed on both side of the waveguide, and top surfaces of the bumpers are higher than a top surface of the electrode layer. The method of fabrication includes forming semiconductor layers for waveguide on a substrate, forming another semiconductor layer on the semiconductor layers, removing the another semiconductor layer and at least a part of the semiconductor layers selectively so that grooves are formed on both side of a region where the waveguide are expected to be formed, removing the another semiconductor layer at the region, remained portions of the another semiconductor layer form bumpers. The module includes a waveguide optical semiconductor device having bumpers disposed on both side of the waveguide, and a carrier having a mounting region in contact with the top surfaces of the bumpers.

Un dispositivo ottico a semiconduttore della guida di onde, un metodo di fabbricare lo stesso e un modulo del dispositivo ottico. Il dispositivo a semiconduttore include un substrato, una guida di onde formata sul substrato, uno strato dell'elettrodo formato sulla guida di onde ed i respingenti formati sul substrato. I respingenti sono disposti di sugli entrambi lato della guida di onde e le superfici superiori dei respingenti sono superiori ad una superficie superiore dello strato dell'elettrodo. Il metodo di montaggio include formare gli strati a semiconduttore per la guida di onde su un substrato, formanti un altro strato a semiconduttore sugli strati a semiconduttore, rimuoventi l'altro strato a semiconduttore ed almeno una parte del semiconduttore fa uno strato di selettivamente in moda da formare le scanalature sugli entrambi lato di una regione dove la guida di onde si pensa che formi, rimuovente l'altro strato a semiconduttore alla regione, siano rimasto parti degli altri respingenti della forma di strato a semiconduttore. Il modulo include un dispositivo ottico a semiconduttore della guida di onde che hanno respingenti disposti di sugli entrambi lato della guida di onde e un elemento portante che ha una regione del montaggio in contatto con le superfici superiori dei respingenti.