An optical switch on a planar optical circuit substrate includes a cantilevered arm having a control element selectively movable in a direction into the plane of the substrate into a waveguide slot of the substrate for switching optical signals carried by the waveguide. The arm can be actuated by thermal or piezoelectric actuators to deflect between a rest position allowing signal information from a waveguide to continue along the waveguide and a second position with the control element of the cantilevered arm extending into the slot for selectively blocking or changing the direction of the incoming signal. In an alternative embodiment of the invention, a second arm is provided which moves laterally and can be selectively actuated in sequence with the first cantilevered arm for overlying and latching the switching arm in the second or light controlling position, such that the MEMS switch can remain in an active state without further application of a control signal thereto. Arrays of MEMS switches are formed on a single wafer by selective etching and are bonded to arrays of optical waveguides to provide multiple switch modules.

Ein LWL-Schalter auf einem planaren optischen Stromkreissubstrat schließt einen freitragenden Arm mit ein, der ein Bewegliches des Steuerelements selektiv in einer Richtung in die Fläche des Substrates in einen Wellenleiterschlitz des Substrates für Schaltung die optischen Signale hat, die durch den Wellenleiter getragen werden. Der Arm kann durch die thermischen oder piezoelektrischen Auslöser betätigt werden, um zwischen eine Ruhestellung abzulenken, Signalinformationen von einem Wellenleiter entlang dem Wellenleiter und einer zweiten Position mit dem Steuerelement des freitragenden Armes fortfahren lassend, der in den Schlitz für die Richtung des ankommenden Signals selektiv blockieren oder ändern verlängert. In einer alternativen Verkörperung der Erfindung, wird ein zweiter Arm, der seitlich bewegt und in der Reihenfolge mit dem ersten freitragenden Arm für das Überlagern und das Verriegeln des Schaltung Armes in der Sekunde oder in der hellen steuernden Position selektiv betätigt werden kann, so zur Verfügung gestellt, daß der MEMS Schalter in einem aktiven Zustand ohne weitere Anwendung eines Steuersignals dazu bleiben kann. Reihen MEMS Schalter werden auf einer einzelnen Oblate durch vorgewählte Radierung gebildet und werden zu den Reihen der optischen Wellenleiter abgebunden, um mehrfache Schalterbaugruppen zur Verfügung zu stellen.