What is described here is an antireflective coating comprising a carrier
layer consisting of an optically transparent material, which, at least on
one surface side, presents antireflective properties with respect the
wavelengths of the radiation incident on the surface. Moreover, methods of
producing the coating are described.
The invention excels itself by the provision that the antireflective
surface side presents a surface roughness with stochastically distributed
structures--the so-called macro structures--and that the macro structures
are additionally modulated with surface structures presenting a periodic
sequence--the so-called micro structures--which present period or cycle
lengths smaller than the wave lengths of the radiation incident on the
antireflective surface.
Was hier beschrieben wird, ist ein antireflective Beschichten, eine Fördermaschineschicht enthalten, die aus einem optisch transparenten Material besteht, das, mindestens auf einer Oberflächenseite, antireflective Eigenschaften mit Respekt die Wellenlängen des Strahlung Ereignisses auf der Oberfläche darstellt. Außerdem werden Methoden des Produzierens der Schicht beschrieben. Die Erfindung übertrifft sich durch die Bestimmung, daß die antireflective Oberflächenseite eine Oberflächenrauheit mit stochastisch verteilten Strukturen darstellt -- die sogenannten Makrostrukturen -- und daß die Makrostrukturen zusätzlich mit den Oberflächenstrukturen moduliert werden, die eine periodische Reihenfolge darstellen -- die sogenannten Mikrostrukturen -- die die anwesenden Periode oder Zykluslängen, die als die Welle Längen des Strahlung Ereignisses auf der antireflective Oberfläche kleiner sind.