A method and apparatus for forming thin polymer layers having low dielectric constants on semiconductor substrates includes in situ formation of p-xylylenes, or derivatives thereof from liquid precursors such as p-xylene, 1,4-bis(formatomethyl)benzene, or 1,4-bis(N-methyl-aminomethyl)benzene. In one embodiment, the method includes the vaporization of p-xylene, dehydrogenation of the p-xylene in a platinum lined tube to form p-xylylene with minimum formation of side reaction products, and blending of the p-xylylene monomers with one or more comonomers.

Μια μέθοδος και μια συσκευή για τα λεπτά πολυμερή στρώματα που έχουν τις χαμηλές διηλεκτρικές σταθερές στα υποστρώματα ημιαγωγών περιλαμβάνουν τον κανονικό σχηματισμό του π -π-ξυλυλενες, ή τα παράγωγα επ' αυτού από τους υγρούς προδρόμους όπως το π-ξυλόλιο, 1,4-bis(formatomethyl)benzene, ή 1.4-ψης(Ν-μεθύλιο. Σε μια ενσωμάτωση, η μέθοδος περιλαμβάνει την εξάτμιση του π-ξυλολίου, dehydrogenation του π-ξυλολίου σε έναν ευθυγραμμισμένο λευκόχρυσος σωλήνα για να διαμορφώσει το π -π-ξυλυλενε με τον ελάχιστο σχηματισμό των δευτερευόντων προϊόντων αντίδρασης, και το συνδυασμό των μονομερών π -π-ξυλυλενε με ένα ή περισσότερα comonomers.