A probe has a cantilever structure. A piezoelectric element oscillates the probe at or near its resonance frequency. A piezoelectric plate detects a distortion amount of the probe. An actuator adjusts the position of the probe in an oscillating direction so as to stabilize the distortion amount at a constant value. A shifting device adjusts the mutual position between the probe and an objective surface.

Een sonde heeft een cantilever structuur. Een piezoelectric element oscilleert de sonde bij of dichtbij zijn resonantiefrequentie. Een piezoelectric plaat ontdekt een vervormingshoeveelheid sonde. Actuator past de positie van de sonde in een oscillerende richting aan om het vervormingsbedrag bij een constante waarde te stabiliseren. Een het verschuiven apparaat past de wederzijdse positie tussen de sonde en een objectieve oppervlakte aan.