Autoclaving slurries of porous, inorganic oxide particles results in an increased abrasiveness of the particles as reflected in increased removal rates of a polished substrate at standard polishing conditions in chemical mechanical polishing operations. Slurries having novel abrasion properties, especially for silica-based slurries, are created. The increase in particle abrasivity strongly correlates with a decrease in particle surface area as determined by N.sub.2 adsorption (BET method). As a result, methods for obtaining a desired abrasivity for a slurry can be practiced by heating a slurry of inorganic oxide particles to a BET surface area previously identified as associated with the abrasivity desired. The resulting slurries can be used in conventional polishing machinery. The method is particularly suitable for preparing silica-based abrasive slurries.

Het steriliseren met autoclaaf van dunne modder van poreuze, anorganische oxydedeeltjes resulteert in een verhoogde abrasiveness van de deeltjes zoals die in verhoogde verwijderingstarieven van een opgepoetst substraat bij standaard het oppoetsen voorwaarden in chemische mechanische het oppoetsen verrichtingen wordt nagedacht. De dunne modder die nieuwe schuringseigenschappen, vooral voor op kiezelzuur-gebaseerde dunne modder hebben, wordt gecreeerd. De verhoging van deeltjesabrasivity correleert sterk met een daling van deeltjesoppervlakte zoals die door N.sub.2 adsorptie wordt bepaald (de methode van de WEDDENSCHAP). Dientengevolge, kunnen de methodes om gewenste abrasivity voor een dunne modder te verkrijgen worden uitgeoefend door een dunne modder van anorganische oxydedeeltjes aan een oppervlakte van de WEDDENSCHAP te verwarmen eerder geïdentificeerd zoals verbonden aan gewenst abrasivity. De resulterende dunne modder kan in conventionele oppoetsende machines worden gebruikt. De methode is bijzonder geschikt om op kiezelzuur-gebaseerde schurende dunne modder voor te bereiden.