Method and apparatus are provided for measuring the surface profile of a sample. The method and apparatus provide light from a light source through a beam splitter to form two split beams, direct the split beams onto a sample surface and a reference surface respectively, reflect the split beams back through the beam splitter, and direct the split beams towards an imaging system. A surface profiling apparatus for measuring the surface profile of the sample is also provided. The apparatus includes a light source for generating a source beam, beam splitting means positioned in the path of the source beam for splitting the source beam into split beams, a reference surface, a sample surface allowing the split beams to traverse separate paths and return to the beam splitting means, reference surface positioning means for positioning the reference surface, and viewing means for imaging combined beams. An apparatus for calibrating a laser for the ablation of a material including the surface profiling apparatus is also provided.

El método y los aparatos se proporcionan para medir el perfil superficial de una muestra. El método y los aparatos proporcionan la luz de una fuente de luz a través de un divisor de viga a las vigas partidas de la forma dos, dirigen las vigas partidas sobre una superficie de la muestra y una superficie de referencia respectivamente, reflejan las vigas partidas detrás a través del divisor de viga, y dirigen las vigas partidas hacia un sistema de la proyección de imagen. Una superficie que perfila el aparato para medir el perfil superficial de la muestra también se proporciona. El aparato incluye una fuente de luz para generar una viga de la fuente, medios que parten de la viga colocados en la trayectoria de la viga de la fuente para partir la viga en vigas partidas, una superficie de referencia, una superficie de la fuente de la muestra permitiendo que las vigas partidas atraviesen las trayectorias separadas y vuelvan a los medios que parten de la viga, superficie de referencia que coloca los medios para colocar la superficie de referencia, y ver los medios para las vigas combinadas proyección de imagen. Un aparato para calibrar un laser para la ablación de un material incluyendo la superficie que perfila el aparato también se proporciona.