A device and method for delivering various substrates into a high-precision measuring instrument. The device comprises a magazine in which are configured several compartments in which substrate holders for different substrates can be deposited. Also provided is a loading station in which the substrate holders can be loaded with the substrate that matches the substrate holder. An automatic transfer device removes substrate holders from the magazine and introduces them into the loading station, or removes the substrate holders together with the introduced substrate from the loading station. The automatic transport device is configured as a robot arm at whose front end sits a fork.

Un dispositif et une méthode pour livrer de divers substrats dans un instrument de mesure à haute précision. Le dispositif comporte un magasin en lequel sont configurés plusieurs compartiments en lesquels des supports de substrat pour différents substrats peuvent être déposés. En outre fournie est une station de chargement dans laquelle les supports de substrat peuvent être chargés avec le substrat qui assortit le support de substrat. Un dispositif automatique de transfert enlève des supports de substrat du magasin et les présente dans la station de chargement, ou enlève les supports de substrat ainsi que le substrat présenté de la station de chargement. Le dispositif automatique de transport est configuré comme bras de robot lequel à l'embout avant repose une fourchette.