According to the present invention, an optical waveguide is provided on a silica or silicon substrate using MPACVD and ICP etching processes. Optical fiber is coupled to the waveguide by positioning the fiber in a groove formed in the waveguide and compressing a top lid on the fiber. The top lid is secured to the waveguide and fiber by an epoxy or a solder. In a solder based embodiment, the cladding of the fiber may have a metallization evaporated thereon.

De acordo com a invenção atual, um waveguide ótico é fornecido em uma carcaça do silicone ou do silicone usando processos gravura a água-forte de MPACVD e de ICP. A fibra ótica é acoplada ao waveguide posicionando a fibra em um sulco dado forma no waveguide e comprimindo uma tampa superior na fibra. A tampa superior é fixada ao waveguide e à fibra por um epoxy ou por uma solda. Em uma solda baseada a incorporação, o cladding da fibra pode ter um metallization evaporado thereon.