The present invention uses a single substrate to provide a small-size optical waveguide element that requires no optical axis adjustments, can be driven at a low voltage, is excellent in light utilization efficiency, and can rapidly two-dimensionally deflect a light beam. A right-triangle upper electrode and a rectangular transparent upper electrode are formed on top of a thin-film optical waveguide formed on a conductive substrate to serve as a lower electrode, and an emission right-angled prism is secured on top of the transparent upper electrode. A voltage is applied between the upper electrode and the conductive substrate, and between the transparent upper electrode and the conductive substrate. A horizontal deflection is performed upon application of a voltage to the upper electrode and a vertical deflection is performed upon application of a voltage to the transparent upper electrode.

Die anwesende Erfindung benutzt ein einzelnes Substrat, um ein kleines optisches Wellenleiterelement zur Verfügung zu stellen, das keine optischen Mittellinie Justagen erfordert, an einer Niederspannung gefahren werden kann, in der hellen Anwendung Leistungsfähigkeit ausgezeichnet ist und einen Lichtstrahl schnell two-dimensionally ablenken kann. Eine Rechtdreieck obere Elektrode und eine rechteckige transparente obere Elektrode werden auf einen optischen Dünnfilmwellenleiter gebildet, der auf einem leitenden Substrat gebildet wird, um als unterere Elektrode zu dienen, und ein recht-winkliges Prisma der Emission wird auf die transparente obere Elektrode gesichert. Eine Spannung wird zwischen der oberen Elektrode und dem leitenden Substrat und zwischen der transparenten oberen Elektrode und dem leitenden Substrat angewendet. Eine horizontale Ablenkung wird nach Anwendung einer Spannung zur oberen Elektrode durchgeführt und eine vertikale Ablenkung wird nach Anwendung einer Spannung zur transparenten oberen Elektrode durchgeführt.