A gripper assembly is provided. The gripper assembly comprises a pair of
moving assemblies. In an exemplary embodiment, the moving assemblies
comprise a pair of grippers coupled to a pair of gripper fingers that have
end effectors adapted to contact a wafer. A magnet is placed in each of
the moving assemblies so that the attractive force between the magnets
moves a portion of the moving assemblies toward each other.
Se proporciona un montaje del agarrador. El montaje del agarrador abarca a par de asambleas móviles. En una encarnación ejemplar, las asambleas móviles abarcan un par de los agarradores juntados a un par de los dedos del agarrador que tienen effectors del final adaptados al contacto una oblea. Un imán se coloca en cada uno de las asambleas móviles de modo que la fuerza atractiva entre los imanes mueva a porción de las asambleas móviles hacia uno a.