A projection exposure apparatus including an irradiation optical system including a light source and irradiating a mask with irradiation light beams, a projection optical system for projecting an image of a pattern of the mask on a substrate, a plurality of first fly-eye type optical integrators each having an emission side focal plane disposed on a Fourier transformed surface with respect to the pattern of the mask in the irradiation optical system or on a plane adjacent to the same and having a center located at a plurality of positions which are eccentric from the optical axis of the irradiation optical system, a plurality of second fly-eye type optical integrators each having an emission side focal plane disposed on a Fourier transformed plane with respect to the incidental end of each of a plurality of the first fly-eye type optical integrators or on a plane adjacent to the same and being disposed to correspond to a plurality of the first fly-eye type optical integrators, and a light divider for dividing and causing the irradiation light beams from the light source to be incident on each of a plurality of the second fly-eye type optical integrators.

Un appareillage d'exposition de projection comprenant un système optique d'irradiation comprenant une source lumineuse et irradier un masque avec les faisceaux lumineux d'irradiation, un système optique de projection pour projeter une image d'un modèle du masque sur un substrat, une pluralité de premier type intégrateurs optiques chacun d'voler-oeil ayant un avion focal de côté d'émission disposé sur une surface transformée par Fourier en ce qui concerne le modèle du masque dans le système optique d'irradiation ou sur un avion à côté de la même chose et ayant un centre situé à une pluralité de positions qui sont excentriques de l'axe optique du système optique d'irradiation, une pluralité de deuxième type intégrateurs optiques chacun d'voler-oeil ayant un avion focal de côté d'émission disposé sur Fourier a transformé l'avion en ce qui concerne la fin fortuite de chacune d'une pluralité du premier type intégrateurs optiques d'voler-oeil ou sur un avion à côté de la même chose et étant disposé pour correspondre à une pluralité du premier type intégrateurs optiques d'voler-oeil, et un diviseur léger pour diviser et causer à l'irradiation les faisceaux lumineux de la source lumineuse être incident sur chacune d'une pluralité du deuxième type intégrateurs optiques d'voler-oeil.