A high purity cobalt sputter target is disclosed which contains a face centered cubic (fcc) phase and a hexagonal close packed (hcp) phase, wherein the value of the ratio of X-ray diffraction peak intensity, I.sub.fcc (200)/I.sub.hcp (10 11), is smaller than the value of the same ratio in a high purity cobalt material obtained by cooling fcc cobalt to room temperature from the high temperature at which it is molten. High purity cobalt is defined as having an oxygen content of not more than 500 ppm, a Ni content of not more than 200 ppm, contents of Fe, Al and Cr of not more than 50 ppm each, and Na and K of less than 0.5 ppm. The disclosed sputter target is manufactured by subjecting the material to cold-working treatments (less than 422.degree. C.). Annealing the material, at a temperature in the range 300-422.degree. C. for several hours, between cold working treatments significantly increases the amount of cold work which could be imparted into the material. The high purity cobalt is deformed in such a way so as to cause the (0002) hcp plane to be tilted between 10-35.degree. from the target normal. The aforementioned phase proportions and crystallographic texture significantly improves the sputtering efficiency and material utilization.

Un cobalto di elevata purezza polverizza l'obiettivo è rilevato che contiene una fase cubica concentrata faccia (FCC) e una fase imballata vicina esagonale (del hcp), in cui il valore del rapporto di intensità del picco di diffrazione di raggi X, I.sub.fcc (200)/I.sub.hcp (10 11), è più piccolo del valore dello stesso rapporto in un materiale del cobalto di elevata purezza ottenuto raffreddando il cobalto del FCC alla temperatura ambiente dalla temperatura elevata a cui è fusa. Il cobalto di elevata purezza è definito come avendo un tenore di ossigeno di non più di 500 PPM, un contenuto del Ni di non più di 200 PPM, soddisfare del Fe, Al e Cr di non più di 50 PPM ciascuno e Na e K di meno di 0.5 PPM. Rilevati polverizzano l'obiettivo sono prodotti sottoponendo il materiale ai trattamenti della lavorazione a freddo (più di meno di 422.degree. C.). Temprando il materiale, ad una temperatura nella gamma 300-422.degree. Il C. per parecchie ore, fra i trattamenti di funzionamento freddi aumenta significativamente la quantità di lavoro freddo che potrebbe comunicarsi nel materiale. Il cobalto di elevata purezza è deformato in tale maniera in modo da indurre (i 0002) aerei del hcp ad essere inclinato fra 10-35.degree. dal normale dell'obiettivo. Le proporzioni sopraccennate di fase e la struttura cristallografica migliora significativamente l'utilizzazione di efficienza e del materiale di polverizzazione.