A vertical cavity surface emitting semiconductor laser is formed with a
multilayer structure on a semiconductor substrate that includes an active
region layer, a central core, and an antiresonant reflecting waveguide
ring surrounding the central core. The ring includes a region formed to
have an effective higher index than the central core and sized to provide
antiresonant lateral waveguiding confinement of a fundamental mode
wavelength. Reflectors formed above and below the active region layer
provide vertical confinement. The antiresonant reflecting ring may be
formed either as a full ARROW structure including a quarter wavelength
high effective index region and a quarter wavelength low effective index
region or as a simplified ARROW structure having a single quarter
wavelength high effective index region. The antiresonant reflecting ring
provides efficient lateral confinement of the fundamental mode while
allowing lateral leakage of higher modes to substantially suppress these
modes, resulting in substantially single mode operation at relatively high
powers.
Un laser d'émission extérieur de semi-conducteur de cavité verticale est formé avec une structure multicouche sur un substrat de semi-conducteur qui inclut une couche active de région, un noyau central, et un anneau se reflétant antiresonant de guide d'ondes entourant le noyau central. L'anneau inclut une région formée pour avoir un index plus élevé efficace que le noyau central et classée pour fournir l'emprisonnement waveguiding latéral antiresonant d'une longueur d'onde fondamentale de mode. Les réflecteurs ont formé au-dessus de et au-dessous de la couche active de région fournissez l'emprisonnement vertical. L'anneau se reflétant antiresonant peut être formé comme pleine structure de FLÈCHE comprenant une région efficace élevée d'index de longueur d'onde quarte et une basse région efficace d'index de longueur d'onde quarte ou comme structure simplifiée de FLÈCHE ayant une région efficace élevée d'index de longueur d'onde quarte simple. L'anneau se reflétant antiresonant fournit l'emprisonnement latéral efficace du mode fondamental tout en permettant à la fuite latérale des modes plus élevés de supprimer sensiblement ces modes, ayant pour résultat l'opération de mode essentiellement unitaire aux puissances relativement élevées.