The present invention is directed to methods and apparatuses for performing temporal scanning using ultra-short pulsewidth lasers in which only minimal (micro-scale) mechanical movement is required. The invention also relates to methods for obtaining high-accuracy timing calibration, on the order of femtoseconds. A dual laser system is disclosed in which the cavity of one or more of the lasers is dithered, by using a piezoelectric element. A Fabry-Perot etalon is used to generate a sequence of timing pulses used in conjunction with a laser beam produced by the laser having the dithered laser cavity. A correlator correlates a laser pulse from one of the lasers with the sequence of timing pulses to produce a calibrated time scale. The methods and apparatuses of the present invention are applicable to many applications requiring rapid scanning and time calibration, including, but not limited to metrology, characterization of charge dynamics in semiconductors, electro-optic testing of ultrafast electronic and optoelectronic devices, optical time domain reflectometry, and electro-optic sampling oscilloscopes.

Die anwesende Erfindung wird auf Methoden und Apparate für das Durchführen der zeitlichen Abtastung mit ultra-kurzen pulsewidth Lasern verwiesen, in denen nur minimale (Mikroskala) mechanische Bewegung angefordert wird. Die Erfindung bezieht auch auf Methoden für das Erhalten der high-accuracy TIMING-Kalibrierung, auf dem Auftrag von femtoseconds. Ein Doppellaser System wird freigegeben, in dem der Raum von einem oder von mehr der Laser gezappelt wird, indem man ein piezoelektrisches Element verwendet. Ein Fabry-Perot etalon wird benutzt, um eine Reihenfolge der Timing-Impulse zu erzeugen, die in Verbindung mit einem Laserstrahl verwendet werden, der durch den Laser produziert wird, der den gezappelten Laser Raum hat. Ein correlator bezieht einen Laser Impuls von einem der Laser mit der Reihenfolge von Timing-Impulsen aufeinander, um eine kalibrierte Zeitskala zu produzieren. Die Methoden und die Apparate der anwesenden Erfindung sind auf viele Anwendungen anwendbar, die schnelle Abtastung und die Zeitkalibrierung erfordern und schließen ein, aber begrenzt nicht auf Metrologie, Kennzeichnung der Aufladung Dynamik in den Halbleitern, die electro-optic Prüfung ultrafast der elektronischen und optoelektronischen Vorrichtungen, optischen Zeitgebiet Reflectometry und electro-optic Musterstückoszillographen.