A microelectromechanical structure capable of switching optical signals
from an input fiber to one of two or more output fibers. In one
embodiment, the MEMS optical cross-connect switch comprises a first
microelectronic substrate having a pop-up mirror disposed on the surface
of the substrate and a rotational magnetic field source, such as a
variably controlled magnetic field source. The rotational magnetic field
source allows for reliable actuation of the pop-up mirror from a
non-reflective state to a reflective state. Additionally the invention is
embodied in a MEMS optical cross-connect switch having a first
microelectronic substrate having a pop-up mirror disposed on the surface
of the substrate and a positioning structure disposed in a fixed
positional relationship relative to the first substrate. The positioning
structure may comprise a positioning structure extending from a second
microelectronic substrate that is in a fixed positional relationship
relative to the first microelectronic substrate. The positioning structure
serves to restrict further movement of the pop-up mirror when the pop-up
mirror has been actuated into a reflective state.
Μια microelectromechanical δομή ικανή τα οπτικά σήματα από μια ίνα εισαγωγής στη μια από δύο ή περισσότερες ίνες παραγωγής. Σε μια ενσωμάτωση, τα MEMS οπτικά διαγώνιος-συνδέουν το διακόπτη περιλαμβάνουν ένα πρώτο μικροηλεκτρονικό υπόστρωμα που έχει έναν υπερεμφανιζόμενο καθρέφτη διατεθειμένο στην επιφάνεια του υποστρώματος και μιας περιστροφικής πηγής μαγνητικών πεδίων, όπως μια μεταβλητά ελεγχόμενη πηγή μαγνητικών πεδίων. Η περιστροφική πηγή μαγνητικών πεδίων επιτρέπει την αξιόπιστη ώθηση του υπερεμφανιζόμενου καθρέφτη από ένα μη ανακλαστικό κράτος σε ένα αντανακλαστικό κράτος. Επιπλέον η εφεύρεση ενσωματώνεται σε ένα MEMS οπτικό διαγώνιος-συνδέει το διακόπτη που έχει ένα πρώτο μικροηλεκτρονικό υπόστρωμα που έχει έναν υπερεμφανιζόμενο καθρέφτη διατεθειμένο στην επιφάνεια του υποστρώματος και μιας τοποθετώντας δομής που διατίθενται σε μια σταθερή θεσιακή σχέση σχετικά με το πρώτο υπόστρωμα. Η τοποθετώντας δομή μπορεί να περιλάβει μια τοποθετώντας δομή που επεκτείνεται από ένα δεύτερο μικροηλεκτρονικό υπόστρωμα που είναι σε μια σταθερή θεσιακή σχέση σχετικά με το πρώτο μικροηλεκτρονικό υπόστρωμα. Η τοποθετώντας δομή χρησιμεύει να περιορίσει την περαιτέρω μετακίνηση του υπερεμφανιζόμενου καθρέφτη όταν ωθηθεί ο υπερεμφανιζόμενος καθρέφτης σε ένα αντανακλαστικό κράτος.