In an inspection method for a transparent object, a transparent object is
irradiated with light from a light source, and the surface or interior of
the transparent object is inspected by observing transmitted light on the
side of the transparent object that is opposite to the light source. An
inspection apparatus for a transparent object includes a
transparent-object-moving unit, an irradiation unit, and a detection unit.
The transparent-object-moving unit moves a transparent object to an
inspection position and fixes the transparent object in the inspection
position. The irradiation unit emits light from a light source disposed on
one side of the transparent object so as to irradiate light onto the
transparent object fixed in the inspection position by the
transparent-object-moving unit. The detection unit is located on the side
of the transparent object opposite the light source and has a detector for
detecting light that has been emitted from the light source and has passed
through the transparent object. The inspection method and the inspection
apparatus realize improved inspection accuracy and inspection efficiency.
In een inspectiemethode voor een transparant voorwerp, wordt een transparant voorwerp bestraald met licht uit een lichtbron, en de oppervlakte of het binnenland van het transparante voorwerp worden geïnspecteerd door overgebracht licht aan de kant van het transparante voorwerp waar te nemen dat tegengesteld aan de lichtbron is. Een inspectieapparaat voor een transparant voorwerp omvat een transparant-voorwerp-zichbeweegt eenheid, een stralingseenheid, en een opsporingseenheid. De transparant-voorwerp-zichbeweegt eenheid leidt een transparant voorwerp tot een inspectiepositie en bevestigt het transparante voorwerp in de inspectiepositie. De stralingseenheid zendt licht uit een lichtbron uit die aan één kant van het transparante voorwerp wordt geschikt om licht op het transparante voorwerp te bestralen vast in de inspectiepositie door de transparant-voorwerp-zichbeweegt eenheid. De opsporingseenheid wordt gevestigd aan de kant van het transparante voorwerp tegenover de lichtbron en heeft een detector voor het ontdekken van licht dat uit de lichtbron is uitgezonden en door het transparante voorwerp overgegaan. De inspectiemethode en de inspectieapparaten realiseren betere inspectienauwkeurigheid en inspectieefficiency.