The present invention provides a robot blade for supporting substrates in a processing system. More particularly, the invention provides a blade comprising a contact cup flexibly attached thereto to compensate for inaccurate alignment between the blade and a substrate and allow accurate alignment and flush contact between the contact cup and a substrate. The substrate can then be reliably secured to the blade when retrieved from a face-down position, with the blade positioned above the substrate.

Присытствыющий вымысел обеспечивает лезвие робота для поддерживая субстратов в системы обработки. Определенно, вымысел обеспечивает лезвие состоя из чашки контакта гибко прикрепленной к тому для того чтобы compensate for неточное выравнивание между лезвием и субстратом и позволить точные выравнивание и контакт притока между чашкой контакта и субстратом. Субстрат можно после этого надежно обеспечить к лезвию после того как я retrieved от face-down положения, при лезвие расположенное над субстратом.