A cleaning system for cleaning boxes or containers used to carry semiconductor wafers has box holder assemblies and a box door holder assembly attached to a rotor within an enclosure. Upper and lower hooks on the box holder and box door holder assemblies hold boxes and doors as the rotor spins. Boxes and their doors, such as front opening unified pods (FOUP) are both efficiently cleaned and handled.

Een schoonmakend systeem om dozen of containers schoon te maken die worden gebruikt om halfgeleiderwafeltjes te dragen heeft de assemblage van de dooshouder en een de houdersassemblage van de doosdeur in bijlage aan een rotor binnen een bijlage. De hogere en lagere haken bij de dooshouder en de houdersassemblage van de doosdeur houden dozen en deuren als rotorrotaties. De dozen en hun deuren, zoals voor het openen verenigde peulen (FOUP) zijn efficiënt schoongemaakt en behandeld allebei.