Disclosed is a laser optical system including a multiline laser source that
emits a laser beam having a plurality of peak wavelengths, a wavelength
separating optical system that separates the laser beam emitted from the
laser source into two monochromatic beams, a pair of modulating optical
systems that modulate intensities of the monochromatic beams, a beam
combining optical system that combines the laser beams modulated by the
modulating optical systems, a deflector for deflecting a plurality of
laser beam combined by the beam combining optical system, and a converging
optical system that converges the laser beams deflected by the deflector
to form beam spots on an object surface to be exposed. The modulating
optical systems, which include diffractive beam-dividing elements, are
optimized for the respective monochromatic beams to form the beam spots at
the identical pitches on the object surface.
Gegeben ein Laser optisches System einschließlich einen Mehrkanallasersender frei, der einen Laserstrahl ausstrahlt, der eine Mehrzahl von Höchstwellenlängen, eine Wellenlänge hat, die optisches System trennt, das den Laserstrahl trennt, der vom Lasersender in zwei einfarbige Lichtstrahlen, ein Paar des Modulierens der optischen Systeme ausgestrahlt wird, die Intensität der einfarbigen Lichtstrahlen, ein Lichtstrahl modulieren, der optisches System kombiniert, das die Laserstrahlen kombiniert, die durch die optischen Modulationssysteme moduliert werden, ein Umlenkblech für die Ablenkung einer Mehrzahl des Laserstrahles kombiniert durch den Lichtstrahl, der optisches System und ein konvergierendes optisches System, das, kombiniert die Laserstrahlen zusammenläuft, die durch das Umlenkblech abgelenkt werden, um Lichtstrahlpunkte auf einer herausgestellt zu werden Gegenstandoberfläche zu bilden. Die optischen Modulationssysteme, die diffractive Lichtstrahl-teilende Elemente einschließen, werden optimiert, damit die jeweiligen einfarbigen Lichtstrahlen die Lichtstrahlpunkte an den identischen Taktabständen auf der Gegenstandoberfläche bilden.