In a dicing apparatus that comprises a first blade and a second blade, the
first blade cuts a wafer along a street along which the first blade has
not previously cut the wafer, and the second blade cuts the wafer along a
street along which the first blade has not cut the wafer, and then kerfs
made by the blades are inspected. In this method, the kerfs are made along
the different streets, and thus the kerfs made by the blades can be
accurately inspected.
In een dobbelend apparaat dat uit een eerste blad bestaan en een tweede blad, de eerste bladbesnoeiingen een wafeltje langs een straat waarlangs het eerste blad eerder niet het wafeltje heeft gesneden, en het tweede blad snijdt het wafeltje langs een straat waarlangs het eerste blad niet het wafeltje heeft gesneden, en dan kerfs gemaakt door de bladen worden geïnspecteerd. In deze methode, worden kerfs gemaakt langs de verschillende straten, en zo kunnen kerfs die door de bladen wordt gemaakt nauwkeurig worden geïnspecteerd.