A plasma treatment apparatus capable of efficiently performing a plasma
treatment to a large area of an object while preventing the occurrence of
streamer discharge is provided. The apparatus includes at least one pair
of electrodes, gas supply unit for supplying a gas for plasma generation
to a discharge space defined between the electrodes, and an electric power
supply for applying an AC voltage between the electrodes to generate
plasma of the gas for plasma generation in the discharge space. At least
one of the pair of electrodes has a dielectric layer at an outer surface
thereof. At least one of the pair of electrodes has a curved surface
jutting into the discharge space. It is preferred that the electrodes are
of a cylindrical structure. In this case, it is particularly preferred
that the plasma treatment apparatus further includes a coolant supply unit
for supplying a coolant to the interior of the electrodes to reduce an
electrode temperature during the plasma treatment.
Un'apparecchiatura di trattamento del plasma capace efficientemente di effettuazione del trattamento del plasma ad una grande zona di un oggetto mentre impedire il caso di scarico della fiamma è fornito. L'apparecchio include almeno un accoppiamento degli elettrodi, dell'unità dell'approvvigionamento di gas per assicurare un gas per la generazione del plasma ad uno spazio di scarico definito fra gli elettrodi e di una fornitura dell'energia elettrica per l'applicazione della tensione CA Fra gli elettrodi per generare il plasma del gas per la generazione del plasma nello spazio di scarico. Almeno uno dell'accoppiamento degli elettrodi ha uno strato dielettrico ad una superficie esterna di ciò. Almeno uno dell'accoppiamento degli elettrodi ha una superficie curva jutting nello spazio di scarico. È preferito che gli elettrodi siano di una struttura cilindrica. In questo caso, è particolarmente-preferito che l'apparecchiatura di trattamento del plasma ulteriore include un'unità del rifornimento del refrigerante per fornire un refrigerante all'interiore degli elettrodi per ridurre una temperatura dell'elettrodo durante il trattamento del plasma.
