A management method capable of making an accurate decision about a malfunction of the semiconductor manufacturing equipment includes sampling a plurality of data of at least one parameter under normal operating conditions of the semiconductor manufacturing equipment; generating a Mahalanobis space A from a group of sampled data; calculating a Mahalanobis distance D.sup.2 from measured values of the parameter under ordinary operating conditions of the semiconductor manufacturing equipment; and deciding that a malfunction occurred in the semiconductor manufacturing equipment when the value of the Mahalanobis distance exceeds a predetermined value.

Um método da gerência capaz de fazer uma decisão exata sobre um mau funcionamento do equipamento de manufacturing do semicondutor inclui provar um plurality dos dados ao menos de um parâmetro sob condições operando-se normais do equipamento de manufacturing do semicondutor; gerando um Mahalanobis espace A de um grupo de dados provados; calculando um Mahalanobis distance D.sup.2 dos valores medidos do parâmetro sob condições operando-se ordinárias do equipamento de manufacturing do semicondutor; e decidindo-se que um mau funcionamento ocorreu no equipamento de manufacturing do semicondutor quando o valor da distância de Mahalanobis exceder um valor predeterminado.