The present invention relates to a method and system of inspecting a
product, including extracting defects from the product, classifying the
defects on the basis of information about the extracted defects
representing the analogy of the defects, extracting the feature data of
the defects on the basis of the result of defect classification, and
feeding back the feature data of the extracted defects for inspection. The
method and system is characterized in that the extracted feature data of
the defects is fed back for inspecting the product. The present invention
also relates to a method of manufacturing a semiconductor electric or
electronic device, including extracting defects from the semiconductor
electric or electronic device, classifying the defects on the basis of
information about the extracted defects representing the analogy of the
defects, extracting the feature data on the defects on the basis of the
result of defect classification, and feeding back the feature data of the
extracted defects to an apparatus for manufacturing the semiconductor
electric or electronic device.
Присытствыющий вымысел относит к методу и системе проверять продукт, включая извлекать дефекты от продукта, классифицирующ дефекты on the basis of информация о извлеченных дефектах представляя аналогию дефектов, извлекая данные по характеристики дефектов on the basis of результат классифицирования дефекта, и feed back данные по характеристики извлеченных дефектов для осмотра. Метод и система охарактеризованы в что извлеченные данные по характеристики дефектов поданы назад для проверять продукт. Присытствыющий вымысел также относит к методу изготовлять приспособление полупроводника электрическое или электронное, включая извлекать дефекты от полупроводника электрического или электронного приспособления, классифицируя дефекты on the basis of информация о извлеченных дефектах представляя аналогию дефектов, извлекая данные по характеристики на дефектах on the basis of результат классифицирования дефекта, и feed back данные по характеристики извлеченных дефектов к прибору для изготовлять приспособление полупроводника электрическое или электронное.
