An electronic device, such as a filter or phase shifter, for example, includes a substrate, and a MEMS capacitor on the substrate and having a plurality of selectable capacitance values. The MEMS capacitor preferably includes a lower capacitor electrode on the substrate, and a movable bridge including end portions connected to the substrate laterally adjacent the lower capacitor electrode. The movable bridge may also include a conductive medial portion between the end portions defining an upper capacitor electrode suspended above the lower capacitor electrode and being movable between an upper position and a lower position by an electrostatic force generated between the capacitor electrodes. The upper and lower positions provide respective low and high selectable capacitance values. Moreover, the movable bridge may further include at least one travel limiting portion between the end portions for engaging adjacent substrate portions to keep the upper capacitor electrode in a predetermined spaced relation from the lower capacitor electrode when in the lower position. This travel limiting feature of the MEMS capacitor is relatively easy to fabricate and avoids the sticking or stiction problem of some other types of MEMS capacitors.

Un dispositivo elettronico, quali un filtro o un dispositivo di spostamento di fase, per esempio, include un substrato e un condensatore di MEMS sul substrato e sull'avere una pluralità di valori selettivi di capacità. Il condensatore di MEMS include preferibilmente un elettrodo più basso del condensatore sul substrato e un ponticello mobile compreso le parti terminali collegate lateralmente al substrato adiacente l'elettrodo più basso del condensatore. Il ponticello mobile può anche includere una parte mediale conduttiva fra le parti terminali che definiscono un elettrodo superiore del condensatore sospeso sopra l'elettrodo più basso del condensatore e che sono mobili fra una posizione superiore e una posizione più bassa da una forza elettrostatica generata fra gli elettrodi del condensatore. Le posizioni superiori e più basse forniscono i valori selettivi bassi ed alti rispettivi di capacità. Inoltre, il ponticello mobile può più ulteriormente includere almeno una corsa che limita la parte fra le parti terminali per l'aggancio delle parti adiacenti del substrato per mantenere l'elettrodo superiore del condensatore in un rapporto spaziato predeterminato dall'elettrodo più basso del condensatore quando nella posizione più bassa. Questa corsa che limita la caratteristica del condensatore di MEMS è relativamente facile da fabbricare ed evita il problema di stiction o attaccare di alcuni altri tipi di condensatori di MEMS.