A processor for processing articles, such as semiconductor wafers, in a substantially clean atmosphere is set forth. The processor includes an enclosure defining a substantially enclosed clean processing chamber and at least one processing station disposed in the processing chamber. An interface section is disposed adjacent an interface end of the enclosure. The interface section includes at least one interface port through which a pod containing articles for processing are loaded or unloaded to or from the processor. The interface section is hygienically separated from the processing chamber since the interface section is generally not as clean as the highly hygienic processing chamber. An article extraction mechanism adapted to seal with the pod is employed. The mechanism is disposed to allow extraction of the articles contained within the pod into the processing chamber without exposing the articles to ambient atmospheric conditions in the interface section. The article processor also preferably includes an article insertion mechanism that is adapted to seal with a pod disposed in the interface section. The article insertion mechanism is disposed to allow insertion of the articles into the pod after processing by the at least one processing station. The article insertion mechanism allows the insertion of the articles without exposing the articles to ambient atmospheric conditions in the interface section.

Un procesador para procesar los artículos, tales como obleas de semiconductor, en una atmósfera substancialmente limpia se dispone. El procesador incluye un recinto que define un compartimiento de proceso limpio substancialmente incluido y por lo menos una estación de proceso dispuestos en el compartimiento de proceso. Una sección del interfaz es adyacente dispuesto un final del interfaz del recinto. La sección del interfaz incluye por lo menos un puerto del interfaz a través de el cual una vaina que contiene los artículos para procesar se cargue o se descargue a o desde el procesador. La sección del interfaz se separa higiénico del compartimiento de proceso puesto que la sección del interfaz no está generalmente tan limpia como el compartimiento de proceso altamente higiénico. Un mecanismo de la extracción del artículo adaptado al sello con la vaina se emplea. El mecanismo se dispone para permitir la extracción de los artículos contenidos dentro de la vaina en el compartimiento de proceso sin exponer los artículos a las condiciones atmosféricas ambiente en la sección del interfaz. El procesador del artículo también incluye preferiblemente un mecanismo de la inserción del artículo que se adapte al sello con una vaina dispuesta en la sección del interfaz. El mecanismo de la inserción del artículo es dispuesto para permitir la inserción de los artículos en la vaina después de procesar por la por lo menos una estación de proceso. El mecanismo de la inserción del artículo permite la inserción de los artículos sin exponer los artículos a las condiciones atmosféricas ambiente en la sección del interfaz.