The present invention relates to the calibration and alignment of an X-ray
reflectometry ("XRR") system for measuring thin films. An aspect of the
present invention describes a method for accurately determining C.sub.0
for each sample placement and for finding the incident X-ray intensity
corresponding to each pixel of a detector array and thus permitting an
amplitude calibration of the reflectometer system. Another aspect of the
present invention relates to a method for aligning an angle-resolved X-ray
reflectometer that uses a focusing optic, which may preferably be a
Johansson crystal. Another aspect of the present invention is to validate
the focusing optic. Another aspect of the present invention relates to the
alignment of the focusing optic with the X-ray source. Another aspect of
the present invention concerns the correction of measurements errors
caused by the tilt or slope of the sample. Yet another aspect of the
present invention concerns the calibration of the vertical position of the
sample.
Присытствыющий вымысел относит к тарировке и выравниванию системы рефлектометрии рентгеновского снимка ("XRR") для измерять тонкие пленки. Аспект присытствыющего вымысла описывает метод для точно обусловливать C.sub.0 для каждого размещения образца и для находить, что интенсивность рентгеновского снимка случая соответствовала к каждому пикселу блока детектора и таким образом позволяла тарировка амплитуды системы рефлектометра. Другой аспект присытствыющего вымысла относит к методу для выравнивать угл-razrewenny1 рефлектометр рентгеновского снимка использует фокусировать optic, который может предпочтительн быть кристалл Johansson. Другой аспект присытствыющего вымысла должен утвердить фокусировать optic. Другой аспект присытствыющего вымысла относит к выравниванию фокусировать optic с источником рентгеновского снимка. Другой аспект присытствыющего вымысла относится коррекция ошибок измерений причиненных наклоном или наклоном образца. Yet another аспект присытствыющего вымысла относится тарировка вертикального положения образца.
