An embodiment of the instant invention is a method of fabricating an
electronic device formed over a semiconductor substrate and having a
conductive feature comprised of tungsten, the method comprising the steps
of: forming a nucleation layer over the semiconductor substrate by
introducing a combination of WF.sub.6, H.sub.2 and a plasma; and forming a
tungsten layer on the nucleation layer by means of chemical vapor
deposition. In an alternative embodiment, an insulating layer is formed on
the substrate and situated between the nucleation layer and the substrate.
Preferably, this embodiment additionally includes the step of forming a
nitrogen-containing layer under the nucleation layer by introducing a
combination of WF.sub.6, N.sub.2, H.sub.2, and a plasma. The conductive
feature is, preferably, a conductive gate structure, and the insulating
layer is, preferably, comprised of: an oxide, a nitride, an insulating
material with a dielectric constant substantially higher than that of an
oxide, and any combination thereof.
Un mode de réalisation d'invention instantanée est une méthode de fabriquer un dispositif électronique formé au-dessus d'un substrat de semi-conducteur et d'avoir un dispositif conducteur consisté en le tungstène, la méthode comportant les étapes de : en formant une nucléation posez au-dessus du substrat de semi-conducteur en présentant une combinaison de WF.sub.6, de H.sub.2 et d'un plasma ; et formant une couche de tungstène sur la couche de nucléation au moyen de déposition en phase vapeur. Dans une incorporation alternative, une couche de isolation est formée sur le substrat et située entre la couche de nucléation et le substrat. De préférence, cette incorporation inclut en plus l'étape de former une couche contenant de l'azote sous la couche de nucléation en présentant une combinaison de WF.sub.6, de N.sub.2, de H.sub.2, et d'un plasma. Le dispositif conducteur est, de préférence, une structure conductrice de porte, et la couche de isolation est de préférence composée de : un oxyde, une nitrure, un matériel isolant avec une constante diélectrique sensiblement plus haute que celle d'un oxyde, et toute combinaison en.
