The invention provides an efficient process by which trace impurities are
removed from matrix hydride, inert gases and non-reactive gases, thus
decreasing the concentration of the trace gases by a factor of
100-to-10,000, and more specifically to part-per-billion (ppb) or
part-per-trillion (ppt) levels. Hydride gases such as ammonia, phosphine
and arsine, and inert gases such as nitrogen, helium, hydrogen, and argon
are purified by removing trace contaminants such as silane (SiH.sub.4),
hydrogen sulfide (H.sub.2 S) and germane (GeH.sub.4), along with traces of
moisture. The gas purifier materials of this invention include thermally
activated aluminas from organic sources, thermally activated modified
organic alumina materials, and thermally activated modified aluminas from
an inorganic source. The thermally activated alumina materials of this
invention are activated by heating the alumina material at a temperature
between about 200-1000.degree. C. in an inert atmosphere and maintaining
the activated material in an inert atmosphere.
La invención proporciona un proceso eficiente por a el cual las impurezas del rastro sean quitadas del hidruro de la matriz, de los gases inertes y de los gases non-reactive, así disminuyendo la concentración de los gases del rastro por un factor de 100-to-10,000, y más específicamente parte-por-mil millones (ppb) o parte-por-trillo'n niveles (del ppt). Los gases del hidruro tales como amoníaco, las fosfinas y arsina, y los gases inertes tales como nitrógeno, helio, hidrógeno, y argón son purificados quitando los contaminantes del rastro tales como silane (SiH.sub.4), sulfuro del hidrógeno (H.sub.2 S) y germane (GeH.sub.4), junto con rastros de la humedad. Los materiales del purificador del gas de esta invención incluyen aluminas termal activados de fuentes orgánicas, los materiales orgánicos modificados termal activados del alúmina, y los aluminas modificados termal activados de una fuente inorgánica. Los materiales termal activados del alúmina de esta invención son activados calentando el material del alúmina en una temperatura entre alrededor 200-1000.degree. C. en una atmósfera inerte y mantener el material activado en una atmósfera inerte.
