The sheet resistance meter has: a coil which produces a magnetic field; a sensor head provided to enable the magnetic field to induce eddy currents in a thin film formed on a substrate so that the lines of a magnetic force exerted by the magnetic field extend on one side of the substrate; a control device for detecting the sheet resistance of the thin film according to a variation of the magnetic field caused by the eddy currents; a capacitor for achieving resonance with the coil; and a groove section, a primary air port, an auxiliary air port, and a side air port, provided in the sensor head, for controlling the temperature of the coil. The arrangement stabilizes results of the measurement of a sheet resistance by a sheet resistance meter of a one-sided eddy current detection type when it is used continuously.

Il tester di resistenza di foglio ha: una bobina che produce un campo magnetico; una testa del sensore ha fornito per permettere al campo magnetico di indurre i flussi turbolenti in una pellicola sottile formata su un substrato in modo che le linee di una forza magnetica impiegata dal campo magnetico si estendessero da un lato del substrato; un dispositivo di controllo per la rilevazione della resistenza di foglio della pellicola sottile secondo una variazione del campo magnetico causato dai flussi turbolenti; un condensatore per realizzare risonanza con la bobina; e una sezione della scanalatura, un orificio primario dell'aria, un orificio ausiliario dell'aria e un orificio laterale dell'aria, se nella testa del sensore, per il controllo della temperatura della bobina. La disposizione stabilizza i risultati della misura di una resistenza di foglio da un tester di resistenza di foglio di un tipo su un solo lato di rilevazione del flusso turbolento quando è usata continuamente.