An integrated repair system for micro electronic devices, which comprises a plurality of inspectors optically or electrically inspecting panels on which predetermined patterns have been formed and stores the inspected results in electronic files with a predetermined format. A repairer coupled to a plurality of these inspectors collects the stored files and merges the files and executes a repair process as a batch at one time with reference to the merged files. A file server is coupled to the inspectors through a network, and stores the files of the inspectors and provides the file when the repairer retrieves the files. An automatic transfer device controlled by a host automatically transfers the panels between the inspectors and between the inspector and the repairer, and an automatic transfer device controller coupled to the host receives commands from the host and controls transfers of the automatic transfer device.

Un sistema integrato di riparazione per i micro dispositivi elettronici, che contiene una pluralità gli ispettori otticamente o elettricamente il controllo dei pannelli su cui ha predeterminato i modelli sono stati formati ed immagazzina i risultati controllati in lime elettroniche con una disposizione predeterminata. Un riparatore accoppiato ad una pluralità di questi ispettori raccoglie le lime immagazzinate e fonde le lime ed esegue un processo di riparazione come batch contemporaneamente per quanto riguarda le lime fuse. Un assistente di lima è accoppiato agli ispettori attraverso una rete ed immagazzina le lime degli ispettori e fornisce la lima quando il riparatore richiama le lime. Un controllato di dispositivo automatico di trasferimento da un ospite trasferisce automaticamente i pannelli fra gli ispettori e fra l'ispettore ed il riparatore e un regolatore di dispositivo automatico di trasferimento accoppiato all'ospite riceve gli ordini dall'ospite e dai trasferimenti di comandi del dispositivo automatico di trasferimento.