An embedded LSI includes a FeRAM macro block and an associated logic circuit section. A hydrogen barrier layer covers the FeRAM macro block as a whole and exposes the logic circuit section. The edge of the hydrogen barrier layer overlies the peripheral circuit of the FeRAM macro block and the boundary separating the FeRAM macro block from the logic circuit section. The ferroelectric capacitor is protected by the hydrogen barrier layer against hydrogen during a hydrogen-annealing process.

Eine eingebettete LSI schließt einen FeRAM Makroblock und einen verbundenen Koinzidenzschaltungabschnitt ein. Eine Wasserstoffgrenzschicht umfaßt den FeRAM Makroblock als Ganzes und stellt den Koinzidenzschaltungabschnitt heraus. Der Rand der Wasserstoffgrenzschicht überlagert den Zusatzstromkreis des FeRAM Makroblockes und der Grenze, die den FeRAM Makroblock vom Koinzidenzschaltungabschnitt trennen. Der ferroelectric Kondensator wird durch die Wasserstoffgrenzschicht gegen Wasserstoff während eines Wasserstoff-Ausglühen Prozesses geschützt.