A waveguide for optical transmission having a mechanically active core
material comprised of a silicon-rich silicon nitride in a mechanically
active region. In the mechanically active region, the silicon-rich silicon
nitride core can have no cladding (ie. an air cladding) or a cladding
comprised of a silicon nitride over at least a portion thereof. The
silicon-rich silicon nitride core is comprised of a silicon nitride
compound having a ratio of silicon to nitrogen atoms greater than that of
stoichiometric silicon nitride, Si.sub.3 N.sub.4.
Een golfgeleider voor optische transmissie die een mechanisch actief kernmateriaal heeft dat van een silicium-rijk siliciumnitride wordt samengesteld in een mechanisch actief gebied. In het mechanisch actieve gebied, kan de silicium-rijke kern van het siliciumnitride geen bekleding (d.w.z. een luchtbekleding) of een bekleding hebben die van een siliciumnitride daarvan wordt samengesteld meer dan minstens een gedeelte. De silicium-rijke kern van het siliciumnitride wordt van een samenstelling die van het siliciumnitride een verhouding van silicium aan stikstofatomen groter heeft samengesteld dan dat van stoichiometrisch siliciumnitride, Si.sub.3 N.sub.4.