The present invention provides a thin-film capacitor which can easily meet
requirements of reduction in size, thickness, and weight and which can
perform temperature compensation. In addition to the features described
above, the present invention provides a thin-film capacitor having a
superior Q factor in a high frequency band. The thin-film capacitor of the
present invention has at least one first dielectric thin-film and at least
one second dielectric thin-film having a dielectric constant different
from that of the first dielectric thin-film, wherein these thin-films are
provided between a pair of electrodes. In addition, in the present
invention, the absolute value of the temperature coefficient of
capacitance of the first dielectric thin-film is 50 ppm/.degree. C. or
less, and the temperature coefficient of capacitance of the second
dielectric thin-film is a negative value and has an absolute value of 500
ppm/.degree. C. or more.
La actual invención proporciona un condensador thin-film que puedan resolver fácilmente requisitos de la reducción de tamaño, grueso, y peso y que pueda realizar la remuneración de la temperatura. Además de las características descritas arriba, la actual invención proporciona un condensador thin-film que tiene un factor superior de Q en una venda de alta frecuencia. El condensador thin-film de la actual invención tiene por lo menos un primer thin-film dieléctrico y por lo menos un segundo thin-film dieléctrico teniendo una constante dieléctrica diferente de la del primer thin-film dieléctrico, en donde estas fino-peli'culas se proporcionan entre un par de electrodos. Además, en la actual invención, el valor absoluto del coeficiente de la temperatura de la capacitancia del primer thin-film dieléctrico es 50 ppm/.degree. La C. o menos, y el coeficiente de la temperatura de la capacitancia del segundo thin-film dieléctrico es un valor negativo y tiene un valor absoluto de 500 ppm/.degree. C. o más.