The travel range is extended for electrostatically actuated micro mirrors used as attenuators, modulators and switches in optical networks by the use of dielectrically coated, preferably with Silicon dioxide, inner surfaces. Oxide charge and oxide capacitance combine to expand the travel range of the mirrors before snap down, at the expense of increased applied bias voltage. This method of travel range extension is preferred over other range extension methods due to its simplicity, reproducibility, and ease of manufacture, as well as benefits of decreased stiction and inhibited electrode shorting. A method for the manufacture of the devices is also disclosed.

Η σειρά ταξιδιού επεκτείνεται για τους electrostatically ωθημένους καθρέφτες μικροϋπολογιστών που χρησιμοποιούνται ως εξασθενητές, διαμορφωτές και μεταβάσεις στα οπτικά δίκτυα με την χρήση dielectrically ντυμένος, κατά προτίμηση με το διοξείδιο πυριτίου, τις εσωτερικές επιφάνειες. Η δαπάνη οξειδίων και η ικανότητα οξειδίων συνδυάζουν να επεκτείνουν τη σειρά ταξιδιού των καθρεφτών πριν από τη θραύση κάτω, εις βάρος της αυξανόμενης εφαρμοσμένης προκατειλημμένης τάσης. Αυτή η μέθοδος επέκτασης σειράς ταξιδιού προτιμάται πέρα από άλλες μεθόδους επέκτασης σειράς δικαιούχες την απλότητα, τη δυνατότητα αναπαραγωγής, και την ευκολία κατασκευής, καθώς επίσης και της μειωμένου stiction και εμποδισμένη ηλεκτροδίων. Μια μέθοδος για την κατασκευή των συσκευών αποκαλύπτεται επίσης.