An optical component comprising one or more optical elements (35') aligned
with the end(s) of one or more waveguides (25') is fabricated by a process
in which, first of all, a doped silica core layer (20) is deposited on a
substrate (10) (or on a buffer layer on the substrate), and subsequently a
partial overclad layer (30A) typically 1-5 .mu.m thick is deposited on the
core layer. The partial overclad layer and core layer are patterned and
etched so as simultaneously to define the optical element(s) and the
waveguide core(s). Afterwards, the overclad is completed by depositing a
further overclad layer (30B). In the case of application of this
fabrication method to a grating-based NBWDM device, the metallisation of
the grating can precede or follow the deposition of the second overclad
portion (30B). In either case, low-temperature deposition processes are
required for deposition of this second overclad portion.
Оптически компонент состоя из one or more оптически элементов (35 ') выровнянных с end(s) one or more волноводов (25 ') изготовлен процессом в, первым делом из, данный допинг слой сердечника кремнезема (20) депозирован на субстрате (10) (или на слое буфера на субстрате), и затем частично mu.m типично 1-5 слоя overclad (30A) толщиной депозирован на слое сердечника. Сделаны по образцу и вытравлены частично слой overclad и слой сердечника для того НОП одновременно определить оптически element(s) и core(s) волновода. Потом, overclad завершито путем депозировать более дополнительный слой overclad (30B). В случай применение этого технология изготовления к гратинг-osnovannomu приспособлению NBWDM, металлизирование решетки может предшествовать или следовать за низложение второй части overclad (30B). В любой случай, низкотемпературные процессы низложения необходимы для низложения этой второй части overclad.