In a tunnel magnetoresistance effect element comprising a tunnel
multilayered film having a tunnel barrier layer, a ferromagnetic free
layer and a ferromagnetic pinned layer such that the tunnel barrier layer
is held between the ferromagnetic free layer and the ferromagnetic pinned
layer, three indexes representing a surface roughness state of the tunnel
barrier layer are set such that Ra.ltoreq.1 nm, Rmax.ltoreq.10 nm and
Rrms.ltoreq.1.2 nm, wherein Ra is one of the three indexes and
representing the center line average roughness, Rmax is one of the three
indexes and representing the maximum height, and Rrms is one of the three
indexes and representing the standard deviation roughness. Thus, the
tunnel magnetoresistance effect element exhibits improved characteristics,
particularly, a large head output.
En un elemento del efecto de la magnetorresistencia del túnel que abarca una película de varias capas del túnel que tiene una capa de barrera del túnel, una capa libre ferromagnética y una capa fijada ferromagnética tales que la capa de barrera del túnel está llevada a cabo entre la capa libre ferromagnética y la capa fijada ferromagnética, tres índices que representan un estado superficial de la aspereza de la capa de barrera del túnel se fijan tales que Ra.ltoreq.1 nm, Rmax.ltoreq.10 nm y Rrms.ltoreq.1.2 nm, en donde el ra es uno de los tres índices y de representar la línea de centro aspereza media, Rmax son uno de los tres índices y de representar la altura máxima, y Rrms es uno de los tres índices y de representar la aspereza de la desviación de estándar. Así, el elemento del efecto de la magnetorresistencia del túnel exhibe características mejoradas, particularmente, una salida principal grande.