A method for performing scanned defect inspection of a collection of contiguous areas using a specified false-alarm-rate and capture-rate within an inspection system that has characteristic seek times between inspection locations. The multi-stage method involves setting an increased false-alarm-rate for a first stage of scanning, wherein subsequent stages of scanning inspect only the detected areas of probable defects at lowered values for the false-alarm-rate. For scanning inspection operations wherein the seek time and area uncertainty is favorable, the method can substantially increase inspection throughput.

Μια μέθοδος για την ανιχνευμένη επιθεώρηση ατέλειας μιας συλλογής των παρακείμενων περιοχών που χρησιμοποιούν ένα διευκρινισμένα ψεύτικος-συναγερμός-ποσοστό και ένα σύλληψη-ποσοστό μέσα σε ένα σύστημα επιθεώρησης που έχει το χαρακτηριστικό να επιδιώξει τους χρόνους μεταξύ των θέσεων επιθεώρησης. Η πολυβάθμια μέθοδος περιλαμβάνει τον καθορισμό ενός αυξανόμενου ψεύτικος-συναγερμός-ποσοστού για ένα πρώτο στάδιο της ανίχνευσης, όπου τα επόμενα στάδια της ανίχνευσης επιθεωρούν μόνο τους ανιχνευμένους τομείς των πιθανών ατελειών στις χαμηλωμένες τιμές για το ψεύτικος-συναγερμός-ποσοστό. Για τις διαδικασίες επιθεώρησης ανίχνευσης όπου επιδιώξτε το χρόνο και η αβεβαιότητα περιοχής είναι ευνοϊκή, η μέθοδος μπορεί αισθητά να αυξήσει τη ρυθμοαπόδοση επιθεώρησης.