Motion of a block carrying a grid for backscattering portions of a pattern of charged particles incident on the grid is moved generally axially of a charged particle beam tool while the position of the block is measured, preferably to optically, with a grazing incidence laser beam or interferometer, in the axial direction for any or all of the degrees of freedom of the block. Backscatter is correlated with known grid position to correct the backscatter measurement to compensate for lateral components of motion parallel to the target plane in measurement of actual beam position at different axial locations. Telecentricity and landing angle can thus be observed to an accuracy of 0.003 milliradians in substantially real time; permitting substantially real time adjustment thereof. The basic principles of this process and apparatus can be extended to measurement of numerical aperture and are equally applicable to probe-forming and beam projection lithography tools.

De motie van een blok dat een net voor backscattering gedeelten van een patroon van geladen deeltjesincident op draagt wordt het net bewogen over het algemeen axiaal van een geladen hulpmiddel van de deeltjesstraal terwijl de positie van het blok, bij voorkeur optisch, met een weidende weerslaglaserstraal of een interferometer, in de asrichting voor om het even welk of de elk van graad van vrijheid van het blok wordt gemeten. Backscatter is gecorreleerd met bekende netpositie om de backscatter meting te verbeteren om zijcomponenten van motie te compenseren parallel met het doelvliegtuig in meting van daadwerkelijke straalpositie bij verschillende asplaatsen. De hoek van Telecentricity en het landen kan zo aan een nauwkeurigheid van 0,003 milliradians in wezenlijk in real time worden waargenomen; daarvan toelatend aanpassing wezenlijk in real time. De basisprincipes van dit proces en apparaten kunnen tot meting van numerieke opening worden uitgebreid en zijn even van toepassing op de hulpmiddelen van de sonde-zichvormende en straal projectielithografie.