An apparatus for processing a workpiece in a micro-environment includes a workpiece housing connected to a motor for rotation. The workpiece housing forms a substantially closed processing chamber where processing fluids are distributed across at least one face of the workpiece by centrifugal force generated during rotation of the housing. The housing may also be detached from the motor and moved to another location. The housing consequently serves as a processing chamber, as well as a storage or transport chamber.

Un apparecchio per l'elaborazione del pezzo in lavorazione in un micro-environment include un alloggiamento del pezzo in lavorazione collegato ad un motore per rotazione. L'alloggiamento del pezzo in lavorazione forma un alloggiamento d'elaborazione sostanzialmente chiuso in cui procedendo i liquidi è distribuito attraverso almeno una faccia del pezzo in lavorazione da forza centrifuga generata durante la rotazione dell'alloggiamento. L'alloggiamento può anche essere staccato dal motore ed essere spostato verso un'altra posizione. L'alloggiamento conseguentemente serve da alloggiamento d'elaborazione, come pure un alloggiamento di trasporto o di immagazzinaggio.