A transport system for manipulating a semiconductor wafer in a processing tool is set forth. The system includes a transport unit guide disposed within the processing tool for supporting a wafer transfer unit as the unit moves between a first position and a second position. The transport unit guide comprises a frame, a lateral guide rail mounted on the frame, and a series of magnetic segments arranged upon the transport unit guide proximate the lateral guide rail. The wafer transfer unit includes a tram translatably attached to the lateral guide rail and a wafer transfer arm assembly for manipulating the semiconductor wafer. An electromagnet is mounted on the tram in cooperative relation with the magnetic segments for moving the transfer unit along the guide rail. Actuators are used for controlling the position of the transfer unit and transfer arm assembly, and sensors are used for determining the position of the transfer unit and the transfer arm assembly. A controller is disposed remote of the wafer transfer unit and directs the movement of the transfer unit and transfer arm assembly in response to the sensors using the actuators. A communication link is established between the actuators, sensors and controller. Preferably, the communication link is a fiber optic link.

Un sistema del transporte para manipular una oblea de semiconductor en una herramienta de proceso se dispone. El sistema incluye una guía de la unidad del transporte dispuesta dentro de la herramienta de proceso para apoyar una unidad de la transferencia de la oblea mientras que la unidad se mueve entre una primera posición y una segunda posición. La guía de la unidad del transporte abarca un marco, un carril de guía lateral montado en el marco, y una serie de segmentos magnéticos dispuestos sobre la unidad del transporte dirige próximo el carril de guía lateral. La unidad de la transferencia de la oblea incluye una tranvía translatably unida al carril de guía lateral y a un montaje del brazo de la transferencia de la oblea para manipular la oblea de semiconductor. Un electroimán se monta en la tranvía en la relación cooperativa con los segmentos magnéticos para mover la unidad de la transferencia a lo largo del carril de guía. Los actuadores se utilizan para controlar la posición de la unidad de la transferencia y transfieren el montaje del brazo, y los sensores se utilizan para determinar la posición de la unidad de la transferencia y del montaje del brazo de la transferencia. Un regulador es telecontrol dispuesto de la unidad de la transferencia de la oblea y dirige el movimiento del montaje de la unidad de la transferencia y del brazo de la transferencia en respuesta a los sensores usando los actuadores. Un puente de comunicaciones se establece entre los actuadores, los sensores y el regulador. Preferiblemente, el puente de comunicaciones es un acoplamiento óptico de la fibra.