A optical assembly (10) for directing and/or focusing a beam of light energy (11) for an exposure apparatus (28) is provided herein. The optical assembly (10) includes one or more optical sections (12) which are assembled together. At least one of the optical sections (12) includes an optical housing (14) having an inner wall (15) which defines a optical chamber (16). One or more optical elements (18) can be secured to the optical housing (14) of each optical section (12). Additionally, each optical section (12) can include a plurality of outlet ports (20) and a plurality of inlet ports (22) for purging the optical chamber (16). The inlet ports (22) and the outlet ports (20) are uniquely positioned to minimize the time required to purge the optical assembly (10) and the amount of replacement fluid (24) used to purge the optical assembly (10).

Proporcionan una asamblea óptica (10) para dirigir y/o enfocar un haz de energía de la luz (11) para un aparato de exposición (28) adjunto. La asamblea óptica (10) incluye unas o más secciones ópticas (12) que estén montadas juntas. Por lo menos una de las secciones ópticas (12) incluye una cubierta óptica (14) que tiene una pared interna (15) que defina un compartimiento óptico (16). Unos o más elementos ópticos (18) se pueden asegurar a la cubierta óptica (14) de cada sección óptica (12). Además, cada sección óptica (12) puede incluir una pluralidad de puertos de enchufe (20) y una pluralidad de puertos de la entrada (22) para purgar el compartimiento óptico (16). Los puertos de la entrada (22) y los puertos de enchufe (20) se colocan únicamente para reducir al mínimo el tiempo requerido para purgar la asamblea óptica (10) y la cantidad del líquido de reemplazo (24) usado para purgar el montaje óptico (10).