By setting the thickness of the Ti core between 4.about.6 nm and adjusting the thickness ratio of the Pt layer in relation to the thickness of the entire lower electrode, the (100) face orientation degree of a piezoelectric thin film may be set to a prescribed ratio with favorable reproducibility. Preferably, the (100) face orientation degree of the piezoelectric thin film is not less than 40% and not more than 70% or less, the (110) face orientation degree is 10% or less, and the (111) face orientation degree is the remaining portion thereof. Further, by applying heat from the lower electrode side upon calcinating the piezoelectric precursor film, it is possible to obtain satisfactory crystallinity as the crystal growth begins from the lower electrode side and reaches the upper part of the film. Accordingly, piezoelectric properties of the piezoelectric thin film are improved, and a highly reliable inkjet recording head and printer may be obtained thereby.

Путем устанавливать толщину сердечника ti между 4.about.6 nm и регулировать коэффициент толщины слоя пинты по отношению к толщине всего более низкого электрода, (100) степеней ориентации стороны пьезоэлектрической тонкой пленки может быть установлен к предписанному коэффициенту с благоприятной воспроизводимостью. Предпочтительн, (100) степеней ориентации стороны пьезоэлектрической тонкой пленки не чем 40% и больше чем 70% или, (110) степеней ориентации стороны 10% или, и (111) степенью ориентации стороны будет остальная часть thereof. Более потом, путем прикладывать жару от более низкой стороны электрода по calcinating пьезоэлектрическая пленка прекурсора, по возможности получить удовлетворительную кристалличность по мере того как рост кристалла начинает от более низкой стороны электрода и достигает верхнюю часть пленки. Соответственно, улучшены пьезоэлектрические свойства пьезоэлектрической тонкой пленки, и высоки надежные головка и принтер записи inkjet могут быть получены таким образом.