A cryogenic inertial Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) device is provided. The device may include a vibratory gyroscope operable to sense a rotational acceleration. The device may also include a pre-amplifier co-located in a close proximity to the vibratory gyroscope. The device may be operated at substantially low temperatures, such as cryogenic temperatures, to reduce electrical noise and improve stability of outputs of the system.

Se proporciona un dispositivo Micro-Electro-Meca'nico de inercia criogénico del sistema (MEMS). El dispositivo puede incluir un giroscopio vibratorio operable para detectar una aceleración rotatoria. El dispositivo puede también incluir un preamplificador co-localizado en una proximidad cercana al giroscopio vibratorio. El dispositivo se puede funcionar en las temperaturas substancialmente bajas, tales como temperaturas criogénicas, para reducir ruido eléctrico y para mejorar la estabilidad de las salidas del sistema.