A plasma processing apparatus is disclosed which comprises a container which can be evacuated; a gas supply means for supplying a gas to the inside of the container; and a microwave supply means for supplying microwaves to generate a plasma in the container, the plasma being utilized to process an article, wherein the microwave supply means is a microwave applicator which is provided with an annular waveguide having a planar H-plane with a plurality of slots provided apart from each other and a rectangular cross section perpendicular to the traveling direction of microwaves and which supplies microwaves to the inside of the container through a dielectric window of the container from the plurality of slots provided in the planar H-plane, and wherein the gas supply means is provided a gas emission port through which the gas is emitted toward the planar H-plane.

Μια συσκευή επεξεργασίας πλάσματος αποκαλύπτεται που περιλαμβάνει ένα εμπορευματοκιβώτιο που μπορεί να εκκενωθεί αέριο παρέχετε τα μέσα για το α αέριο στο εσωτερικό του εμπορευματοκιβωτίου και μέσα ανεφοδιασμού μικροκυμάτων για τα μικροκύματα για να παραγάγει ένα πλάσμα στο εμπορευματοκιβώτιο, το πλάσμα που χρησιμοποιείται για να επεξεργαστεί ένα άρθρο, όπου τα μέσα ανεφοδιασμού μικροκυμάτων είναι applicator μικροκυμάτων που παρέχεται ένας δακτυλιοειδής κυματοδηγός που έχει ένα επίπεδο χ-αεροπλάνο με μια πολλαπλότητα των αυλακώσεων που παρέχονται το ένα εκτός από το άλλο και μια ορθογώνια κάθετος διαγώνιων τμημάτων στη διακινούμενη κατεύθυνση των μικροκυμάτων και που παρέχει τα μικροκύματα στο εσωτερικό του εμπορευματοκιβωτίου μέσω ενός διηλεκτρικού παραθύρου του εμπορευματοκιβωτίου από την πολλαπλότητα των αυλακώσεων παρείχε στο επίπεδο χ-αεροπλάνο, και όπου αέριο παρέχετε τα μέσα παρέχεται έναν αέριο λιμένα εκπομπής μέσω του οποίου αέριο εκπέμπεται προς το επίπεδο χ-αεροπλάνο.