A micromachined plate 11, called a torsion plate, selectively pivots upon a substrate responsively to electrical force so as to move an attached micromirror 12 in a same plane; thereby to accurately selectively intercept, and to reflect, a light beam 2 that is moving parallel to the substrate; forming thus an optomechanical switch 1. The electrical force may be electromagnetic 3 in nature or, preferably, electrostatic. In various embodiments the pivoting torsion plate 11 with the micromirror 12 affixed may be (i) biased off the substrate by a three-dimensional structure 14 and/or by a "reshaped" torsion beam 11c, (ii) bent as plate 11d, and operated push OR pull, push AND pull, or push AND push, in a rocking operation, (iii) elevated above the substrate upon a self-assembling "micro-elevator structure" 16, and/or (iv) moved greatly in angular position by action of a "micro-flap" 11f. A new design spring-loaded landing electrode 18, and a torsion microhinge 131-134, further enhance performance. The micromachined, or Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), optomechanical switch 1 so formed is both fast and accurate to switch light over large angles up to 180.degree. while being highly resistant to sticking, or "stiction".

A micromachined die Platte 11, genannt eine Torsion Platte, schwenkt selektiv nach einem Substrat entgegenkommend elektrischer Kraft, um ein angebrachtes micromirror 12 in einer gleichen Fläche zu verschieben; dadurch genau selektiv abfangen und sich reflektieren, ein Lichtstrahl 2, der das Bewegen parallel zum Substrat ist; einen optomechanical Schalter 1 folglich bilden. Die elektrische Kraft kann elektromagnetische 3 in der Natur oder elektrostatisch vorzugsweise sein. In den verschiedenen Verkörperungen kann die schwenkende Torsion Platte 11 mit dem micromirror 12, das hinzugefügt wird, (i) sein beeinflußt weg vom Substrat durch eine dreidimensionale Struktur 14 und/oder durch einen "umgestalteten" Torsion Lichtstrahl 11c, (ii) verbogen als Platte 11d und bearbeitetes eindrücken ODER Zug, Stoß UND Zug oder Stoß UND Stoß, einen Schwingbetrieb, (iii) erhöht über dem Substrat nach einer Selbst-zusammenbauenden "Mikro-Aufzug Struktur" 16, und/oder (iv) groß verschoben in eckige Position durch Tätigkeit einer "Mikro-Klappe" 11f. Eine federgelagerte Landungelektrode 18 des neuen Designs und ein Torsion microhinge 131-134, weiter erhöhen Leistung. Micromachined oder Mikroelectro-mechanische Systeme (MEMS), optomechanical Schalter 1, also gebildet ist schnell und genau, des Lichtüberschusses bis zu 180.degree., beim Sein in hohem Grade beständig gegen das Haften oder "stiction" zu schalten große Winkel.