It has been demonstrated that debris generation within an electric capillary discharge source, for generating extreme ultraviolet and soft x-ray, is dependent on the magnitude and profile of the electric field that is established along the surfaces of the electrodes. An electrode shape that results in uniform electric field strength along its surface has been developed to minimize sputtering and debris generation. The electric discharge plasma source includes: (a) a body that defines a circular capillary bore that has a proximal end and a distal end; (b) a back electrode positioned around and adjacent to the distal end of the capillary bore wherein the back electrode has a channel that is in communication with the distal end and that is defined by a non-uniform inner surface which exhibits a first region which is convex, a second region which is concave, and a third region which is convex wherein the regions are viewed outwardly from the inner surface of the channel that is adjacent the distal end of the capillary bore so that the first region is closest to the distal end; (c) a front electrode positioned around and adjacent to the proximal end of the capillary bore wherein the front electrode has an opening that is communication with the proximal end and that is defined by a non-uniform inner surface which exhibits a first region which is convex, a second region which is substantially linear, and third region which is convex wherein the regions are viewed outwardly from the inner surface of the opening that is adjacent the proximal end of the capillary bore so that the first region is closest to the proximal end; and (d) a source of electric potential that is connected across the front and back electrodes.

Es ist demonstriert worden, daß Rückstanderzeugung innerhalb einer elektrischen haarartigen Entladung Quelle, für das Erzeugen des extremen ultravioletten und weichen Röntgenstrahls, von der Größe abhängig ist und Profil vom elektrischen auffangen, das entlang den Oberflächen der Elektroden hergestellt wird. Eine Elektrode Form, die konstantes elektrisches ergibt, fangen Stärke entlang seiner Oberfläche hat sich entwickelt, um das Spritzen und Rückstanderzeugung herabzusetzen auf. Die elektrische Entladung Plasmaquelle schließt ein: (a) ein Körper, der eine kreisförmige haarartige Ausbohrung definiert, die ein proximales Ende und ein distales Ende hat; (b) eine rückseitige Elektrode in Position gebracht um und neben das distale Ende der haarartigen Ausbohrung, worin die rückseitige Elektrode eine Führung hat, die in der Kommunikation mit dem distalen Ende ist und die durch eine nichtgleichförmiqe innere Oberfläche definiert wird, die eine erste Region ausstellt, die konvex ist, der zweiten Region, die konkav ist und der dritten Region, die konvex ist, worin die Regionen nach außen von der inneren Oberfläche der Führung angesehen werden, die das distale Ende der haarartigen Ausbohrung angrenzend ist, damit die erste Region zum distalen Ende am nähsten ist; (c) eine vordere Elektrode in Position gebracht um und neben das proximale Ende der haarartigen Ausbohrung, worin die vordere Elektrode eine Öffnung hat, die Kommunikation mit dem proximalen Ende ist und die durch eine nichtgleichförmiqe innere Oberfläche definiert wird, die eine erste Region ausstellt, die konvex ist, der zweiten Region, die im wesentlichen linear ist und der dritten Region, die konvex ist, worin die Regionen nach außen von der inneren Oberfläche der Öffnung angesehen werden, die das proximale Ende der haarartigen Ausbohrung angrenzend ist, damit die erste Region zum proximalen Ende am nähsten ist; und (d) eine Quelle des elektrischen Potentials, das über der Frontseite und den rückseitigen Elektroden angeschlossen wird.