Silylcyclopentasilane and a solution composition for forming a silicon film containing the same, which is used for forming a silicon film on the surface of a substrate. There is also disclosed spiro[4.4] nonasilane.

Silylcyclopentasilane και μια σύνθεση λύσης για τη διαμόρφωση μιας ταινίας πυριτίου που περιέχει το ίδιο πράγμα, το οποίο χρησιμοποιείται για τη διαμόρφωση μιας ταινίας πυριτίου στην επιφάνεια ενός υποστρώματος. Υπάρχει επίσης αποκαλυπτόμενο spiro[4.4 ] nonasilane.